沉陽液態氣體純SF6氣體通常被認為是無毒的。 SF6在生產過程中伴隨著少量產品，其中S2F10被認為是劇毒氣體，但可以通過純化將其完全去除。盡管純SF6氣體是無毒的，但有必要防止SF6氣體的濃度升高到工作場所的氧氣不足水平。 SF6氣體的密度約為空氣的五倍。如果有泄漏，SF6氣體將在低壓下沉積，例如電纜溝。濃度過高有窒息的危險，在設計室內通風時應考慮到這一點。 SF6氣體通過對流與空氣混合，但速度非常慢。氣體混合后，會形成SF6和空氣的混合物，不會再次分離。嚴重的問題是，電弧放電下的SF6分解產物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF具有很強的腐蝕性和毒性。 SF4（四氟化硫）在常溫下沒有SF4。具有類似于SO2的刺激性氣味的色氣在空氣中產生煙霧和濕氣，產生SOF2和HF。 SF4氣體可以被堿溶液或活性氧化鋁（Al2O3）吸收。 SF4氣體對肺有侵入性作用，并影響呼吸系統。其毒性可與光氣媲美。 S2F2（氟化硫），室溫下為無色氣體，有毒，刺激性氣味，遇濕氣可完全水解形成S，SO2和HF。 S2F2對呼吸系統具有類似光氣的破壞作用。 SF2（二氟化硫），SF2具有極不穩定的化學性質，加熱后更具活性，并易于水解成S，SO2和HF。 SF2氣體可以被堿溶液或活性氧化鋁吸收。 SO2F2不易被活性氧化鋁吸收。 SO2F2是一種有毒氣體，可導致蟑螂。它的危險是它沒有刺激性氣味，不會刺激鼻粘膜，因此經常被發現中毒后很快死亡。