沉陽液態氣體的純SF6氣體通常被認為是無毒的。 SF6在生產過程中會產生少量伴隨產品，其中S2F10被認為是劇毒氣體，但在純化處理后可以完全去除。盡管純SF6氣體是無毒的，但必須防止工作場所中SF6氣體的濃度升高到缺氧水平。 SF6氣體的密度約為空氣的五倍。如果SF6氣體泄漏，它將沉積在低處，例如電纜溝。如果濃度過高，則有窒息的危險，在設計室內通風設備時應考慮這種情況。 SF6氣體可以通過對流與空氣混合，但是速度非常慢。氣體混合后，將形成SF6和空氣的混合氣體，不會再次分離。嚴重的問題是，在電弧作用??下，SF6，SF2，SF2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等SF6的分解產物具有很強的腐蝕性和毒性。 SF4（四氟化硫）在室溫下是正常的。有色氣體具有類似于SO2的刺激性氣味，并且可以在空氣中產生帶有水分的煙霧，產生SOF2和HF。 SF4氣體可以被堿液或活性氧化鋁（Al2O3）吸收。 SF4氣體對肺有毒性作用，并影響呼吸系統。其毒性可與光氣媲美。 S2F2（氟化硫）在室溫下為無色氣體，有毒，刺激性氣味，遇濕氣可完全水解形成S，SO2和HF。 S2F2對呼吸系統具有類似光氣的損害。 SF2（二氟化硫），SF2具有極不穩定的化學性質，加熱時更活潑，并且容易水解為S，SO2和HF。 SF2氣體可以被堿液或活性氧化鋁吸收。 SO2F2不易被活性氧化鋁吸收。 SO2F2是一種有毒氣體，可引起抽筋。它的危險是它沒有刺激性氣味，不會刺激鼻粘膜。因此，中毒后往往會很快死亡。