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遼寧天然氣高純氮化學(xué)氣相沉積用載氣

* 來源: * 作者: * 發(fā)表時間: 2020-09-28 1:09:29 * 瀏覽: 30
遼寧天然氣高純氮氣概要概述,性能,功能及用途:純度大于99.999%。無色,無味,無味,無毒惰性氣體。相對密度ds(21.1℃,空氣= 1)為0.967。氣體密度為1.153kg / m3(21.1℃,101.3kPa),液體密度為808.5kg / m3(-195.8℃,101.3kPa)。沸點為-195.8℃。熔點為-209.9℃。氮純化方法主要包括吸附,變壓吸附和膜分離。在集成電路,半導(dǎo)體和電子真空設(shè)備的制造中用作保護氣體和載氣,化學(xué)氣相沉積過程中的載氣,液體擴散源的載氣以及高溫擴散爐中設(shè)備的保護氣。高純度氮氣在外延,光刻,清潔和蒸發(fā)等過程中用作置換,干燥,存儲和運輸?shù)臍怏w。在顯像管的制造中,要求氮氣的純度為99.99%以上。在航空航天技術(shù)中,液態(tài)氫填充系統(tǒng)必須先用高純度氮氣代替,然后再用高純度氦氣代替。目前,純氮主要用于油田注氮,石油化工,合成纖維,合成氨,浮法玻璃,軋鋼和電子工業(yè)等領(lǐng)域。油田注氮設(shè)備擁有最大的制氮規(guī)模。國外最大的是310,000 Nm3 / h。氮氣產(chǎn)品的純度要求氧氣含量低于10ppm,產(chǎn)??品壓力通常為300-400bar。允許暫時中斷生產(chǎn)過程,并需要少量的液氮。石油化工,合成纖維,合成氨,浮法玻璃,軋鋼等制氮設(shè)備的儲備規(guī)模通常在數(shù)千至數(shù)萬之間。產(chǎn)品純度要求包含2∽100ppm的氧氣,產(chǎn)品壓力通常為1.35∽31bar。一些設(shè)備需要備用的液氮,并且需要不間斷的產(chǎn)品供應(yīng)。電子行業(yè)制氮設(shè)備的規(guī)模很小,一般在幾百到幾千之間,但是產(chǎn)品的純度最高,通常氧含量小于1ppm,產(chǎn)??品中的CO和H2含量都比較高。產(chǎn)品的壓力為3∽10bar,這需要不間斷的產(chǎn)品供應(yīng)和備用的液氮。經(jīng)過數(shù)十年的蓬勃發(fā)展,制氮業(yè)在規(guī)模和產(chǎn)品要求方面已達到更高的水平。對于不同規(guī)格的產(chǎn)品,目前已經(jīng)開發(fā)了適合于它們的國內(nèi)外氮氣生產(chǎn)工藝。當(dāng)產(chǎn)品氮氣在5至8 bar之間時,有兩種選擇:第一種選擇:回流膨脹工藝,加壓產(chǎn)品氮氣或膨脹機增壓端的正向空氣。第二種解決方案:正向流動膨脹過程,產(chǎn)物氮氣或正向流動空氣在膨脹機的增壓器端被加壓,產(chǎn)物被氮氣壓縮機壓縮。當(dāng)壓力較高時,此過程具有很大的優(yōu)勢。遼寧燃?xì)?
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