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離子注入氣體（離子注入氣體）

* 來源: * 作者: * 發(fā)表時(shí)間: 2020-07-21 0:28:11 * 瀏覽: 27
離子注入氣體（GasesforIonImplantation）：離子注入是將P +，B +，As +等離子化雜質(zhì)加速到高能態(tài)，然后將其注入到預(yù)定的襯底上。離子注入技術(shù)是控制Vth（閾值電壓）使用最廣泛的技術(shù)。注入的雜質(zhì)量可以通過測量離子電流來獲得。離子注入過程中使用的氣體稱為離子注入氣體，包括磷基，硼基和砷基氣體。
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