沉陽液態氣體六氟化硫氣體是由兩位法國化學家Moissan和Lebeau于1900年合成的人工惰性氣體。在1940年前后，美國軍方將其用于“曼哈頓計劃”（核軍）。 1947年可商購。純SF6氣體通常被認為是無毒的。 SF6在生產過程中伴隨著少量產品，其中S2F10被認為是劇毒氣體，但可以通過純化將其完全去除。盡管純SF6氣體是無毒的，但有必要防止SF6氣體的濃度升高到工作場所的氧氣不足水平。 SF6氣體的密度約為空氣的五倍。如果有泄漏，SF6氣體將在低壓下沉積，例如電纜溝。濃度過高有窒息的危險，在設計室內通風時應考慮到這一點。 SF6氣體通過對流與空氣混合，但速度非常慢。氣體混合后，會形成SF6和空氣的混合物，不會再次分離。嚴重的問題是，在電弧作用??下，SF6，SF2，SF2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等SF6的分解產物具有很強的腐蝕性和毒性。目前，SF6氣體主要用于電力行業。 SF6氣體用于4種類型的電氣設備，包括絕緣和/或滅弧，SF6斷路器和GIS（在此稱為六氟化硫密閉組合，國際上稱為“氣體絕緣開關設備”，（GasInsulatedSwitchgear）），SF6負荷開關設備，SF6絕緣輸電線路，SF6變壓器和SF6絕緣變電站。 80％用于高壓和中壓電力設備。