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高純氣體氖的分析標準及分析儀器

* 來源: * 作者: * 發表時間: 2020-09-15 1:24:40 * 瀏覽: 24
隨著現代微電子工業的不斷發展,市場對高純度氣體氖的純度要求越來越高,達到了99.999%。目前,國內氖氣標準僅為GB / T“ 17873-1999”“純氖氣”,最高氖氣純度為99.995%。世界上還沒有統一的高純度霓虹燈標準,但是一些大型外國公司,例如美國的API和德國的Messer,都有自己的技術指標。在工業上,液態氖氣冷凝法用于分離高純度氖氣,但是由于氖氣和氦氣的沸點非常接近,它們分別為-245.9和-268.9°C。氖氣的沸點低于氮氣的沸點,因此產生的氖氣將含有微量的氦。由于兩者的物理和化學性質相似,因此在工業生產中已檢測到高純氣體氖氣中痕量氦的分析。困難。針對這些問題,有必要探索一種新的檢測方法來測定氖氣中痕量氦[2-7]。在本研究中,使用氖氣作為氣體,并使用一系列標準氣體作為樣品繪制回歸曲線,直線的截距值為載氣中的氦氣量。高純氣體氖實驗儀器和樣品參考物質實驗選擇了GC-122氣相色譜儀,上海儀器分析總廠,熱導檢測器(TCD),色譜工作站,N2000,浙江大學智能信息工程學院。色譜柱使用直徑為3mm,長度為3m的5A分子篩和六通進樣閥。 Shimadzu的GC-14B和GC-14C氣相色譜儀,N3000色譜工作站。氣體分離的原理是:由于性質不同,氣態物質分子在色譜柱分子篩上的吸附-解吸能力也不同。隨著在色譜柱上的連續操作,柱中氣態分子的移動距離逐漸變化。最終彼此分離,不同的氣體的保留時間和峰面積由TCD檢測器檢測到。
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