熏蒸氣體（SterilizingGases）：具有殺菌作用的氣體稱為熏蒸氣體。常用的氣體品種包括環氧乙烷，磷烷，甲基溴，溴甲醛和環氧丙烷。滅菌的原理是利用烷基化作用使微生物組織中不可缺少的物質惰性化。最常用的是以不同比例制備的環氧乙烷和二氧化碳的混合物。根據不同的用途，環氧乙烷的含量可以為10％，20％和30％。也可以使用環氧乙烷和氟利昂12的混合氣體，環氧乙烷和氟利昂11和氟利昂12的混合氣體。殺菌效果與各種成分的濃度，溫度，濕度，時間和壓力等因素有關。熏蒸氣體可用于衛生材料，醫療設備，化妝品原料，動物飼料，谷物，鈔票和辛辣原料。