沉陽(yáng)氣體高純氣體氦氣用于半導(dǎo)體中的泄漏檢測(cè)。為了防止諸如半導(dǎo)體器件和集成電路之類的部件的表面由于諸如污水和蒸氣之類的雜質(zhì)而劣化，必須使用管和殼進(jìn)行密封。然而，由于各種原因，在外殼或引線接頭的密封處，經(jīng)常有肉眼難以發(fā)現(xiàn)的小孔。組件包裝后，需要采取一些方法來檢測(cè)這些小孔的存在。 。氦氣泄漏檢測(cè)是使用氦氣檢查電子元件包裝中的小孔。由于氦原子的尺寸非常小，因此很容易穿過小孔進(jìn)入殼體內(nèi)部。因此，這種檢測(cè)方法可以檢測(cè)到小尺寸的小孔（即，可以檢測(cè)到大約10的泄漏率）。 11?10？ 12cm3 /秒的小孔），靈敏度可與放射性泄漏檢測(cè)方法媲美，但比放射性泄漏檢測(cè)方法簡(jiǎn)單。氦氣泄漏測(cè)試的方法：首先將包裝好的組件放入裝有氦氣的容器中并對(duì)其加壓，讓氦氣通過一個(gè)小孔進(jìn)入管殼，然后將其取出并用壓縮空氣吹吹管殼。然后用質(zhì)譜儀檢測(cè)氦氣從外殼外部泄漏。沉陽(yáng)煤氣